特許
J-GLOBAL ID：202003007913216359

圧電膜およびその製造方法、圧電デバイス、共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ

発明者：
田中 邦明

田中 邦明 について

, 
谷口 眞司

谷口 眞司 について


出願人/特許権者：
太陽誘電株式会社

太陽誘電株式会社 について


代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-228019
公開番号（公開出願番号）：特開2020-092322
出願日： 2018年12月05日
公開日（公表日）： 2020年06月11日
要約：
【課題】圧電性を向上させること。【解決手段】本発明は、圧電材料を含む複数の結晶粒44を含み、厚さ方向の中央領域における平均結晶粒径は、前記厚さ方向における前記中央領域の両側の領域における平均結晶粒径より大きい圧電膜である。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
圧電材料を含む複数の結晶粒を含み、 厚さ方向の中央領域における平均結晶粒径は、前記厚さ方向における前記中央領域の両側の領域における平均結晶粒径より大きい圧電膜。
IPC (2件)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02
FI (2件)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B
Fターム (15件)：
5J108AA02 ,  5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108FF03 ,  5J108FF04 ,  5J108FF05 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108HH06 ,  5J108KK01 ,  5J108KK05 ,  5J108MM11 ,  5J108NB03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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