特許
J-GLOBAL ID：202003008442582631
ワーク分割装置及びワーク分割方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-212091
公開番号（公開出願番号）：特開2018-073991
特許番号：特許第6759524号
出願日： 2016年10月28日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークの外径よりも大きい内径を有するリング状のフレームにダイシングテープの外周部が固定され、前記ダイシングテープに貼付された前記ワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割装置において、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と反対側の裏面側に配置され、前記フレームの内径よりも小さく、かつ前記ワークの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成されたエキスパンドリングであって、前記ダイシングテープに対し相対的に近づく方向に移動されることにより前記ダイシングテープを押圧して拡張するエキスパンドリングと、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置され、前記フレームの内径よりも小さく、かつ前記エキスパンドリングの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成された拡張規制リングであって、前記ダイシングテープの拡張の際に前記ダイシングテープに当接されて前記ダイシングテープのうち前記拡張規制リングに当接された当接部を境として外周側に位置する外周側領域の拡張を規制する拡張規制リングと、
前記拡張規制リングを前記外周側領域の拡張を規制する位置から退避移動させる拡張規制リング移動機構と、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と反対側の裏面側に配置され、前記フレームの内径よりも大きい弾性変形可能な嵌合部を有するリング状に形成された拡張保持リングであって、前記拡張規制リング移動機構によって前記拡張規制リングを前記外周側領域の拡張を規制する位置から退避させた後、前記嵌合部が前記フレームの表面に嵌合することにより前記ダイシングテープの拡張状態を保持する拡張保持リングと、
を備える、ワーク分割装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
H01L 21/78 X
, H01L 21/68 A
