特許
J-GLOBAL ID:202003012905628765

単結晶育成用ルツボ、単結晶製造方法及び単結晶

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  三上 敬史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-227084
公開番号(公開出願番号):特開2020-090403
出願日: 2018年12月04日
公開日(公表日): 2020年06月11日
要約:
【課題】冷却されたルツボが収縮する応力が育成された単結晶に加わることを低減する。【解決手段】単結晶育成用の原料融液8が収容されつつ固化する単結晶育成用ルツボ5Aであって、原料融液8を囲繞する側壁部5sと、側壁部5sと連続しつつ原料融液8を支持する底部5bとを備え、側壁部5sは横断面視で内側に周長冗長性を有するため、側壁部5sは横断面視でいずれかの部位に内側に周長が冗長な部位を有することになり、単結晶育成後の冷却工程で単結晶育成用ルツボ5Aが冷却されると、横断面視で内側に周長が冗長な部位が単結晶育成用ルツボ5Aの外側に展張するため、冷却された単結晶育成用ルツボ5Aが収縮する応力が育成された単結晶11に加わることを低減できる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
単結晶育成用の原料融液が収容されつつ固化する単結晶育成用ルツボであって、 前記原料融液を囲繞する側壁部と、 前記側壁部と連続しつつ前記原料融液を支持する底部と、 を備え、 前記側壁部は、横断面視で内側に周長冗長性を有する、単結晶育成用ルツボ。
IPC (2件):
C30B 11/00 ,  C30B 29/16
FI (2件):
C30B11/00 C ,  C30B29/16
Fターム (8件):
4G077AA02 ,  4G077BB10 ,  4G077CD02 ,  4G077EG01 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077MB04 ,  4G077MB21
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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