特許
J-GLOBAL ID：202003014157621682
固体撮像素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-024757
公開番号（公開出願番号）：特開2017-143211
特許番号：特許第6740628号
出願日： 2016年02月12日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 シリコンウェハの光電変換素子を形成した面に、シリコン材に穴部が形成されて成る壁マトリクス体が、該穴部を前記光電変換素子に対向させて接着され、
各々の前記光電変換素子が前記壁マトリクス体の穴部の側壁である遮光壁で区画され、
該遮光壁のアスペクト比が2.5以上100以下に形成され、
前記穴部に透明樹脂が充填され、
前記透明樹脂と前記壁マトリクス体の上にカラーフィルタ層が形成され、
該カラーフィルタ層の上にマイクロレンズが形成され、
前記穴部と前記カラーフィルタ層の間に埋め込み酸化層が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4件)：
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, G02B 3/00 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
, G02B 5/00 ( 200 6.01)
H01L 27/146 D
, G02B 3/00 A
, G02B 5/20 101
, G02B 5/00 B
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (8件)
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