特許
J-GLOBAL ID：202003014715280587
精密に成形された構造部を有する研磨物品及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
赤澤 太朗
, 野村 和歌子
, 佃 誠玄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-525533
特許番号：特許第6715006号
出願日： 2013年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の研磨要素と、第1の弾性要素と、第1の締結要素と、
第2の研磨要素と、第2の弾性要素と、第2の締結要素と、
キャリアと、を備え、
前記第1の弾性要素と前記第1の締結要素とは、前記第1の研磨要素と前記キャリアとの間に配置され、
前記第2の弾性要素と前記第2の締結要素とは、前記第2の研磨要素と前記キャリアとの間に配置され、
前記第1の弾性要素及び前記第2の弾性要素は、それぞれ前記第1の締結要素及び前記第2の締結要素によって圧縮位置に固定されており、
前記第1の研磨要素及び前記第2の研磨要素が、第1主表面及び第2主表面をそれぞれ備え、
前記第1の研磨要素及び前記第2の研磨要素の少なくとも前記第1主表面が、複数の精密に成形された構造部を備え、
前記研磨要素は、前記構造部と前記構造部間の領域とが介在マトリックスを有することなく連続的な一次研磨材料からなる実質的に無機のモノリシック構造を備える、研磨物品。
IPC (2件)：
B24D 7/02 ( 200 6.01)
, B24D 3/00 ( 200 6.01)
B24D 7/02 B
, B24D 3/00 310 D
, B24D 3/00 320 A
