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J-GLOBAL ID：202102220249540710   整理番号：21A0833237

極薄ガラス上でのロールツーロール方式によるパターン化ITOフィルム

Patterned ITO Film by Roll-to-Roll Process on Ultra-thin Glass

著者 (11件)： FURUKAWA Tadahiro (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  MITSUGI Kaoru (Nippon Electric Glass Co., Ltd., Shiga, JPN) ,  AKIYAMA Syuji (Nippon Electric Glass Co., Ltd., Shiga, JPN) ,  ITOH Haruhiko (Teijin, Ltd., Tokyo, JPN) ,  KOBAYASHI Daiske (Tokai Syoji Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  SUZUKI Tetsuhito (Tokai Seiki Co. Ltd., Gifu, JPN) ,  KUROIWA Hisashi (FEBACS Co. Ltd., Kyoto, JPN) ,  SAKAKIBARA Masato (Dai Nippon Printing Co., Ltd., Chiba, JPN) ,  TANAKA Kenji (KOBE STEEL, Ltd., Hyogo, JPN) ,  KAWAMURA Norifumi (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  KODEN Mitsuhiro (Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 21st  ページ： ROMBUNNO.FLX3-4L  発行年： 2014年12月02日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・ロールツーロールプロセスにより,50μm厚の極薄ガラス上にOLED用のITOフィルムをパターン化し,本基板上に形成したOLEDからの発光を確認することに成功。
・本研究では,ロールツーロール湿式洗浄装置,ロールツーロール堆積装置,および新しいタイプのロールツーロールスクリーン印刷装置を使用。
・極薄ガラスへのITO膜の蒸着には,低温蒸着を推称。

シソーラス用語： 基板 ,  電気装置部品 ,  *生産方式 ,  *パターン形成 ,  *酸化インジウムスズ ,  *膜 ,  発光ダイオード ,  洗浄装置 ,  スクリーン印刷 ,  蒸着
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  *ロール・ツー・ロール方式 ,  *パターン化 ,  *ITO ,  *フィルム ,  OLED

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  発光素子  (NC03082G)

引用文献 (3件)：

• T. Murata et. al.; “Ultra thin glass roll for flexible AMOLED display”, IDW’11 pp.1735-1738(2011)
• H. Tamagaki et. al.; “Roll-to-roll sputter deposition on flexible glass substrates”, Surface & Coatings Technology 241 (2014) 138-141
• S. Garner, “Ultra-Slim Flexible Glass Substrates for Display Applications” SID Display Week(2012)

タイトルに関連する用語 (5件)： ガラス ,  ロールツーロール方式 ,  パターン化 ,  ITO ,  フィルム