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J-GLOBAL ID：202102227699495396   整理番号：21A0957314

X線支援非接触原子間力顕微鏡(XANAM)による半導体表面のナノスケール元素分析

Elemental analysis of semiconductor surfaces at the nanoscale by X-ray aided noncontact atomic force microscopy (XANAM)

著者 (9件)： 鈴木秀士 (名古屋大 工) ,  向井慎吾 (北大 触媒研) ,  CHUN W.-J. (ICU) ,  野村昌治 (高エ研) ,  藤森俊太郎 (名古屋大 工) ,  池田弥央 (名古屋大 工) ,  牧原克典 (名古屋大 工) ,  宮崎誠一 (名古屋大 工) ,  朝倉清高 (北大 触媒研)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 75  号： 2  ページ： ROMBUNNO.11aJ1-4  発行年： 2020年09月23日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は、表面/界面のナノ構造の元素分布情報を得る手法として、「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。これは非接触原子間力顕微鏡(NC-AFM)と放射光X線(SR X-ray)を組み合わせた手法である。今後の原子分子レベル~ナ...【本文一部表示】

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *表面 ,  半導体 ,  シンクロトロン放射 ,  *元素分析 ,  ゲルマニウム ,  空間分解能 ,  規模 ,  半導体材料 ,  量子ドット ,  顕微鏡観察
準シソーラス用語： 非接触原子間力顕微鏡 ,  *半導体表面 ,  高空間分解能 ,  ナノスケール ,  半導体量子ドット ,  原子間力顕微鏡観察

分類 (2件)： 半導体の表面構造  (BK15030A) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： X線 ,  支援 ,  非接触原子間力顕微鏡 ,  半導体表面 ,  ナノスケール ,  元素分析