ロール・ツー・ロールPECVDによる,新しいプリカーサを使用した高いガスバリヤ性を有するフィルムの開発

TAIRA Kodai; SUZUKI Taiga; KONNO Waka; CHIBA Hirokazu; ITOH Haruhiko; KODEN Mitsuhiro; TAKAHASHI Tatsuhiro; FURUKAWA Tadahiro

文献

J-GLOBAL ID：202102231904165552 整理番号：21A0835132

ロール・ツー・ロールPECVDによる,新しいプリカーサを使用した高いガスバリヤ性を有するフィルムの開発

Development of High Gas Barrier Film Using Novel Precursor by Roll to Roll PECVD

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資料名：
巻： 25th ページ： ROMBUNNO.FLX2-4L 発行年： 2018年12月11日
JST資料番号： L4269B ISSN： 1883-2504 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

・OLED用フレキシブル基板のための,ロール・ツー・ロールPECVDによる,プリカーサTG-41(東ソー製)を使用した高いガスバリヤ性を有するフィルムを開発。
・プラスチックフィルムはフレキシブル基板に好適だが,水蒸気や酸素が容易に浸透してOLEDを劣化させるので,高性能のガスバリヤ層をフィルム上に蒸着することが必要。
・本研究では,TG-41を用いて,ロール・ツー・ロールPECVDにより,PENフィルム上にバリヤ層を蒸着させ,良好なガスバリヤ性と優れた透明度を達成。
・TEMによる分析の結果,ロール・ツー・ロールによるガスバリヤ層の構造は,多層構造であることを確認。

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (6件)：

P. E. Burrows, G. L. Graff, M. E. Gross, P. M. Martin, M. K. Shi, M. Hall, E. Mast, C. Bonham, W. Bennett, M. B. Sullivan, “Ultra Barrier Flexible Substrate for Flat Panel Displays”, Display, 22, 65-69 (2001).
T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, H. Itoh, H. Kuroiwa, K. Nagai, “Gas Barrier Film for OLED Devices”, LOPEC (2017).
K. Taira, T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, T. Takahashi, “High Gas Barrier Film for OLED”, Proc. IDW’17, FLXp1-8L (2017).
H. Chiba, K. Iwanaga, K. Tokuhisa, “High Gas Barrier Thin Film Deposition by PECVD on Plastic Substrates Using a Novel and Highly Volatile Precursor, TG-41, for OLED Applications”, Proc. IDW’16, FLXp1-1 (2016).
T. Okimoto, Y. Kurokawa, T. Segawa, H. Tamagaki, “Recent Approach to High Throughput Barrier Coating on Plastic Substrate”, Proc. IDW’14, FLX5-2 (2014).

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