文献

J-GLOBAL ID：202102272712394919   整理番号：21A0835152

高いガスバリヤ性を有する異種混合多層フィルム

High Gas Barrier Films with Heterogeneous Multilayer

著者 (8件)： SUZUKI Taiga (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  KONNO Waka (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  TAIRA Kodai (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  CHIBA Hirokazu (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN) ,  ITOH Haruhiko (TEIJIN LTD., Tokyo, JPN) ,  KODEN Mitsuhiro (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  TAKAHASHI Tatsuhiro (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  FURUKAWA Tadahiro (Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 25th  ページ： ROMBUNNO.FLXp1-10L  発行年： 2018年12月11日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・ロール・ツー・ロールPECVD装置を使用した異種混合多層ガスバリヤ層と,これを用いた透明ガスバリヤフィルムを開発。
・フレキシブルOLEDデバイスにおいて,水蒸気に敏感なOLEDを保護するためのガスバリヤ層が必要。
・透明導電性の酸化インジウム亜鉛(IZO)層を用いた透明ガスバリヤフィルムを作製し,IZO層スパッタリングがガスバリヤ層に与える損傷を調査。
・IZO層の厚さを薄くすることにより,ガスバリヤ層への損傷の抑制に成功。

シソーラス用語： *ガスバリヤ性 ,  プリカーサ ,  プラズマCVD ,  生産方式 ,  発光ダイオード ,  有機半導体 ,  金属酸化物
準シソーラス用語： PECVD ,  ロール・ツー・ロール ,  OLED ,  酸化インジウム亜鉛

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• P. E. Burrows, G. L. Graff, M. E. Gross, P. M. Martin, M. K. Shi, M. Hall, E. Mast, C. Bonham, W. Bennett, M. B. Sullivan, Displays, 22, 65-69 (2001).
• T. Okimoto, Y. Kurokawa, T. Segawa, H. Tamagaki, Proc. IDW’14, FLX5-2 (2014).
• T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, H. Itoh, H. Kuroiwa, K. Nagai, LOPEC (2017).
• K. Taira, T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, T. Takahashi, Proc. IDW’17, FLXp1-8L (2017).
• H. Chiba, K. Iwanaga, K. Tokuhisa, Proc. IDW’16, FLXp1-1 (2016).

タイトルに関連する用語 (2件)： ガスバリヤ性 ,  多層フィルム