特許
J-GLOBAL ID：202103000185274684
固体撮像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松浦 孝
, 本田 崇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-188537
公開番号（公開出願番号）：特開2018-056241
特許番号：特許第6833430号
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 平面内に複数の画素がマトリックス状に配置された固体撮像素子の製造方法において、
前記複数の画素間を分離する素子分離領域部が平面において交差する平面形状が十字状の交差エリアに対し、前記交差エリアに臨む前記画素における4つの角部の近傍から前記交差エリアの方向へ広がる4つの狭小領域を設けることにより、前記十字状の交差エリアを狭くし、
前記十字状の交差エリアが狭くなったエリアにイオン注入エリアを設定してイオン注入を行うことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H01L 21/266 ( 200 6.01)
, H01L 21/265 ( 200 6.01)
, H01L 21/76 ( 200 6.01)
H01L 27/146 A
, H01L 27/146 D
, H01L 21/265 M
, H01L 21/265 F
, H01L 21/76 M
