感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感光性樹脂皮膜、及びパターン形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人英明国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012220
公開番号（公開出願番号）：特開2018-124552
特許番号：特許第6798513号
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)下記式(1a)で表される繰り返し単位及び下記式(1b)で表される繰り返し単位を含むシリコーン変性ポリベンゾオキサゾール樹脂、及び(B)190〜500nmの光によって分解し、酸を発生する光酸発生剤を含む感光性樹脂組成物。 [式中、R1〜R4は、それぞれ独立に、炭素数1〜8の1価炭化水素基であり、グリシジル基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を含んでもよい。m及びnは、それぞれ独立に、0〜300の整数である。R5は、直鎖状、分岐状若しくは環状の炭素数1〜8のアルキレン基、又はフェニレン基である。a及びbは、0<a<1、0<b<1、及びa+b=1を満たす正数である。X1は、下記式(2)で表される2価の連結基である。 (式中、X2は、単結合又は2価の有機基である。R11は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数1〜8の1価炭化水素基であり、該1価炭化水素基の水素原子の一部が、ハロゲン原子で置換されていてもよい。R12は、それぞれ独立に、直鎖状、分岐状又は環状の炭素数1〜8のアルキレン基であり、該アルキレン基を構成するメチレン基の一部が、エーテル結合又はフェニレン基で置換されていてもよい。R13は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基又はグリシジルオキシ基である。R14は、それぞれ独立に、炭素数1〜8の1価炭化水素基であり、該1価炭化水素基の水素原子の一部が、ハロゲン原子で置換されていてもよい。p及びqは、それぞれ独立に、0〜4の整数である。r及びsは、それぞれ独立に、0〜3の整数である。)]

IPC (7件)：

G03F 7/075 ( 200 6.01) , G03F 7/004 ( 200 6.01) , G03F 7/038 ( 200 6.01) , G03F 7/40 ( 200 6.01) , G03F 7/20 ( 200 6.01) , C08G 77/54 ( 200 6.01) , C08J 7/04 ( 202 0.01)

FI (10件)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/004 512 , G03F 7/038 601 , G03F 7/40 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/20 501 , G03F 7/20 521 , C08G 77/54 , C08J 7/04 CFD Z

引用特許：

出願人引用 (7件)

感光性樹脂組成物及びその硬化膜、保護膜、絶縁膜並びに半導体装置及び表示体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-077922 出願人：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物、パタ-ンの製造方法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-278104 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
シリコーン変性ポリベンゾオキサゾール樹脂及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-012229 出願人：信越化学工業株式会社

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