特許
J-GLOBAL ID：200903097122739200
ポジ型感光性樹脂組成物、パタ-ンの製造方法及び電子部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278104
公開番号（公開出願番号）：特開2009-134282
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】アルカリ水溶液で現像可能であり、耐熱性、機械特性に優れる良好な形状のパタ-ンが得られるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、(a)一般式(1)及び(2)のいずれかで表される構造単位を有し、かつ条件(i)及び/又は(ii)を満たすポリベンゾオキサゾール又はその前駆体となるポリマーと、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)熱により前記(a)成分と架橋又は重合し得る、一般式(3)で表される構造を有する化合物とを含有してなり、前記(a)成分100重量部に対して、前記(c)成分を20重量部以上含む。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)及び(2)のいずれかで表される構造単位を有し、かつ下記条件(i)及び/又は(ii)を満たすポリベンゾオキサゾール又はその前駆体となるポリマーと、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)熱により前記(a)成分と架橋又は重合し得る、一般式(3)で表される構造を有する化合物とを含有してなるポジ型感光性樹脂組成物であって、前記(a)成分100重量部に対して、前記(c)成分を20重量部以上含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039
, G03F 7/004
, C08G 73/22
G03F7/039 601
, G03F7/004 501
, C08G73/22
2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CB43
, 2H025CC17
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J043PA02
, 4J043PA19
, 4J043PC015
, 4J043PC016
, 4J043PC145
, 4J043PC146
, 4J043QB15
, 4J043QB34
, 4J043RA06
, 4J043RA52
, 4J043SA06
, 4J043SA71
, 4J043SB01
, 4J043TA12
, 4J043TB01
, 4J043UA041
, 4J043UA042
, 4J043UA052
, 4J043UA081
, 4J043UA082
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA141
, 4J043UA142
, 4J043UA151
, 4J043UA152
, 4J043UA161
, 4J043UA162
, 4J043UA171
, 4J043UA172
, 4J043UA181
, 4J043UA182
, 4J043UB011
, 4J043UB012
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB131
, 4J043UB132
, 4J043UB141
, 4J043UB142
, 4J043UB221
, 4J043UB222
, 4J043UB311
, 4J043UB312
, 4J043UB351
, 4J043UB352
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043YA05
, 4J043ZB22
出願人引用 (38件)
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特開昭49-115541号公報
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特開昭61-57620号公報
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特開昭59-219330号公報
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審査官引用 (3件)
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