特許
J-GLOBAL ID：202103009551321698
走査型プローブ顕微鏡およびZ駆動装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-120245
公開番号（公開出願番号）：特開2021-004859
出願日： 2019年06月27日
公開日（公表日）： 2021年01月14日
要約：
【課題】試料の変形等を抑制できる走査型プローブ顕微鏡等を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡10は、探針38と、探針38および試料1のうち一方を他方に対して、X軸方向およびX軸方向に直交するY軸方向に移動させるXY駆動装置30と、探針38および試料1のうち一方を他方に対して、X軸方向に直交しかつY軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第1Z駆動装置32とを備え、第1Z駆動装置32は、電圧が印加されることによってZ軸方向に伸縮する第1ピエゾ素子42と、第1ピエゾ素子42を少なくとも3点で保持する土台40とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プローブと、
前記プローブおよび試料のうち一方を他方に対して、X軸方向および前記X軸方向に直交するY軸方向に移動させるXY駆動装置と、
前記プローブおよび前記試料のうち一方を他方に対して、前記X軸方向に直交しかつ前記Y軸方向に直交するZ軸方向に移動させる第1Z駆動装置とを備え、
前記第1Z駆動装置は、電圧が印加されることによって前記Z軸方向に伸縮する第1ピエゾ素子と、前記第1ピエゾ素子を少なくとも3点で保持する土台とを有する、
走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01Q 10/04
, G01Q 60/24
, G01Q 30/14
G01Q10/04 101
, G01Q60/24
, G01Q30/14
