特許
J-GLOBAL ID：202103016740641322
特に低減ピッチ用途のための、垂直プローブを有するテストヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-558436
特許番号：特許第6820277号
出願日： 2016年05月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被テストデバイス(24)の動作をテストするための垂直プローブを有するテストヘッド(20)であって、複数の接触プローブ(21)を含み、各接触プローブ(21)は、第1の端(21A)と第2の端(21B)との間で延在する所定の長さの棒状の本体であって、少なくとも1つのプレート状の下側ガイド(22)において作られた下側のガイド穴(22A)内、及び少なくとも1つのプレート状の上側ガイド(23)において作られた上側のガイド穴(23A)内に収容される棒状の本体を有し、前記下側ガイド(22)及び上側ガイド(23)は、互いに平行であって且つ曲げゾーン(29)によって間隔をあけられた前記テストヘッド(20)であって、
前記下側ガイド(22)及び上側ガイド(23)のうちの少なくとも1つが、少なくとも1つの対応する凹陥部(27、27B)を有し、
前記下側ガイド(22)は、少なくとも第1の複数の下側のガイド穴(22A)を含み、且つ前記第1の複数の下側のガイド穴(22A)の厚さを低減するように適合された対応する低下部分(26A)を実現する少なくとも1つの凹陥部(27)と、前記下側ガイド(22)における前記凹陥部(27)の外側に設けられた第2の複数の下側のガイド穴(22B)とを有し、
前記上側ガイド(23)は、第1の複数の上側のガイド穴(23A)を含み、且つ前記第1の複数の上側のガイド穴(23A)の厚さを低減するように適合された対応する低下部分(26B)を実現する少なくとも1つの凹陥部(27B)と、前記上側ガイド(23)における前記凹陥部(27B)の外側に設けられた第2の複数の上側のガイド穴(23B)とを有し、
前記凹陥部(27、27B)に設けられた前記第1の複数のガイド穴(22A、23A)は、前記被テストデバイス(24)における、前記第2の複数のガイド穴(22B、23B)に収容された接触プローブ(21、21’)のピッチよりも小さなピッチを有する微細ピッチ領域として示される領域の接触パッド(24A)を試験するための接触プローブ(21)を収容することを特徴とする、テストヘッド(20)。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ( 200 6.01)
, G01R 1/067 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01R 1/073 E
, G01R 1/067 C
, H01L 21/66 B
