特許
J-GLOBAL ID：202103018751993835
積層基板の測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
龍華国際特許業務法人
, 林 茂則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-509926
特許番号：特許第6964517号
出願日： 2016年03月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ベース基板と、被測定層と、前記ベース基板および前記被測定層の間に位置する吸収層と、を有する積層基板の測定方法であって、
前記被測定層が、単層である被測定単層が複数積層された被測定積層を有し、
前記被測定層が位置する側の前記積層基板の表面に向けて、しきい波長より短波長の光を含む入射光を照射し、前記入射光の前記積層基板からの反射光を測定することにより、前記しきい波長以下の波長における互いに独立な2n(但し、nは、前記被測定層に含まれる前記被測定単層の層数であり、2以上の整数である。)以上の反射光関連値を取得するステップと、
2n以上の前記反射光関連値を用いて、前記被測定層に含まれる各被測定単層について、前記被測定単層に関する値を計算するステップと、を有し、
前記しきい波長として、前記吸収層の消衰係数kを波長λ(単位はnm)の関数k(λ)として表した場合の一回微分dk(λ)/dλの絶対値が消衰微分しきい値以下となる波長範囲の最大波長を用い、
前記計算するステップにおいて、解析モデルに基づくカーブフィッティングにより、前記被測定層に含まれる各被測定単層について、前記被測定単層の厚さと前記被測定単層に関する値を計算し、
前記解析モデルにおいて、2以上の前記被測定単層のうち1以上の前記被測定単層が、特異励起発生波長域において光を吸収する吸収モデルを採用する
積層基板の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/21 ( 200 6.01)
, G01B 11/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01N 21/21 Z
, G01B 11/06 G
, H01L 21/66 L
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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