特許
J-GLOBAL ID：202103020912405054
形状測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福島 祥人
, 中川 雅博
, 澤村 英幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-201047
公開番号（公開出願番号）：特開2018-063153
特許番号：特許第6829977号
出願日： 2016年10月12日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象物の表面形状を測定する形状測定装置であって、
複数のピーク波長を有する光を出射する投光部と、
参照体と、
二次元に配列された複数の画素を含む受光部と、
前記投光部により出射された光を測定光として前記測定対象物に導くとともに前記投光部により出射された光を参照光として前記参照体に導き、前記測定対象物で反射された前記測定光と前記参照体で反射された前記参照光との干渉光を生成し、生成した前記干渉光を前記受光部に導く光学系と、
前記光学系および前記参照体のうち少なくとも一方が取り付けられ、往復移動することにより前記測定光の光路長と前記参照光の光路長との差を変化させる可動部と、
取付外面を有し、前記可動部を往復移動可能に支持する筐体部と、
前記筐体部に対する前記可動部の相対位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部により検出された相対位置と前記受光部の前記複数の画素の受光量とに基づいて前記測定対象物の表面形状を示すデータを生成する形状取得部と、
前記データに基づく画像上において指定された部分の傾きが所望の傾きになるように前記データを補正し、画像上において指定された部分の計測を行う演算部とを備え、
前記筐体部は、前記投光部、前記参照体、前記受光部、前記光学系、前記可動部および前記位置検出部を収容し、
前記筐体部の前記取付外面には、固定部材を挿入可能な取付孔が形成される、形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
