精密微調機構用圧電アクチュエータ

実施期間：1999 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 教授 )
研究概要：

圧電素子と空気圧シリンダを組み合わせ、粗動・微動機構を一体化した、小型かつ高精度のアクチュエータ(位置決め機構)。発光・受光素子と光ファイバ、導波路との位置あわせやレンズやミラーなどの光学部品の組立の際の光路、光軸調整のためのアクチュエータとして利用が期待される。

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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