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研課題

J-GLOBAL ID：202104009357333700 研究課題コード：08069030

半導体のナノ評価に向けた走査型過渡容量顕微鏡の開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
研究概要：

半導体デバイスの特性を決める重要な要因のひとつに界面トラップがあり、その低減化及びナノメータスケールでの均一化が求められているが、有効な評価技術が開発されていないのが現状である。本課題ではミクロンスケール以上で広く用いられている過渡容量評価法とナノメータスケールでの評価が可能な走査型プローブ顕微鏡技術を融合し、ナノメータスケールでの界面トラップ評価が可能な走査型過渡容量顕微鏡の開発を目標とする。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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