光学センサ、光学検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-214939
公開番号（公開出願番号）：特開2018-074075
特許番号：特許第7039825号
出願日： 2016年11月02日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】面発光レーザである光照射部及び前記光照射部の出射光量を検出する検出素子を含む組を複数有し、各々の前記組の前記光照射部は、活性層を有する積層構造体の一部であり、且つ、前記検出素子は、前記活性層を有する積層構造体の他の一部であり、同一の前記組の前記光照射部の活性層と前記検出素子の活性層とは繋がっており、異なる前記組の前記光照射部の活性層同士は繋がっていない光照射器を含み、対象物に光を照射する照射系と、前記照射系から前記対象物に照射され前記対象物内を伝播した光を検出する検出系と、を有する光学センサ。

IPC (4件)：

H01S 5/026 ( 200 6.01) , A61B 5/1455 ( 200 6.01) , H01S 5/183 ( 200 6.01) , H01S 5/42 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01S 5/026 612 , A61B 5/145 , H01S 5/183 , H01S 5/42

引用特許：

審査官引用 (10件)

半導体レーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-048744 出願人：セイコーエプソン株式会社
面発光型半導体レーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-071072 出願人：富士ゼロックス株式会社
特開昭62-004385

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