特許
J-GLOBAL ID:202203003357075901
窒化アルミニウム結晶の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-141981
公開番号(公開出願番号):特開2022-037713
出願日: 2020年08月25日
公開日(公表日): 2022年03月09日
要約:
【課題】安価かつ、より大きい成長速度で窒化アルミニウム結晶を製造することができる窒化アルミニウム結晶の製造方法の提供。
【解決手段】Alを含む合金の融液7を、窒化アルミニウムを含む焼結体に接触させた状態で、融液7中で窒化アルミニウム結晶が分解される温度範囲のうちの最低温度より高い温度に加熱する加熱工程と、加熱工程の後、融液7を、合金の液相線温度以上かつ窒化アルミニウム結晶が分解される最低温度よりも低い温度まで低下させることにより、融液7中で窒化アルミニウム結晶を析出させる析出工程とを、有する窒化アルミニウム結晶の製造方法。加熱工程および析出工程を、窒素を含む雰囲気中で行う窒化アルミニウム結晶の製造方法。
【選択図】図2
請求項(抜粋):
Alを含む合金の融液を、窒化アルミニウムを含む焼結体に接触させた状態で、前記融液中で窒化アルミニウム結晶が分解される温度範囲のうちの最低温度より高い温度に加熱する加熱工程と、
前記加熱工程の後、前記融液を、前記合金の液相線温度以上かつ前記最低温度よりも低い温度まで低下させることにより、前記融液中で窒化アルミニウム結晶を析出させる析出工程とを、
有することを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。
IPC (3件):
C30B 29/38
, C30B 19/04
, C30B 19/10
FI (3件):
C30B29/38 C
, C30B19/04
, C30B19/10
Fターム (11件):
4G077AA02
, 4G077BE13
, 4G077CG02
, 4G077CG07
, 4G077ED01
, 4G077EH07
, 4G077HA02
, 4G077QA04
, 4G077QA12
, 4G077QA34
, 4G077QA38
引用特許:
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