ステージ装置、及び荷電粒子線装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-109645
公開番号（公開出願番号）：特開2019-212559
特許番号：特許第7011535号
出願日： 2018年06月07日
公開日（公表日）： 2019年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料を搭載する上段テーブルを第一の方向に移動させる上段ステージと、前記上段ステージを搭載する中段テーブルを前記第一の方向に直交する第二の方向に移動させる中段ステージと、前記中段ステージを搭載する下段テーブルを前記第一の方向と前記第二の方向に直交する第三の方向に移動させる下段ステージとを備えるステージ装置であって、前記上段テーブルと前記中段テーブルの材質は前記下段テーブルの材質よりも熱膨張係数が小さく、前記下段テーブルの材質は前記上段テーブルと前記中段テーブルの材質よりも熱伝導率が高いことを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：