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J-GLOBAL ID：200902138899630967   Reference number：02A0356036

A Method for Improving the Placement Ratio of E-Beam Testing Pads.

EBテストパッド配置比率の向上手法

Author (2)： KUJI NORIO (NTTエレクトロニクス エレクトロニクス事業本部) ,  ISHIHARA TAKAKO (NTT 通信エネルギー研)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
Volume： J85-C  Issue： 4  Page： 293-299  Publication year： Apr. 01, 2002 
JST Material Number： S0623C  ISSN： 1345-2827  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： electron beam ,...
Semi thesaurus term： 電子ビームテスタ

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JST classification (2)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (5)：

• 久慈憲夫. クォータミクロン時代のEBテスティング. 信学エレクトロニスソ大講演論文集. 1996, C-479, 140-141
• 真田克. RIEを用いて配線層を露出したLSIの評価. LSIテスティングシンポジウム. 1994, 175-181
• MASHIKO, Y. A new VLSI diagnosis technique: Focused ion beam assisted multi-level circuit probing. Reliability Physics 25th Annual Proceedings. 1987, 111-117
• KUJI, N. Improvement of E-beam observabiity by testing-pad placement in LSI design layout. IEICE Trans. Electron. 1999, E82-C, 2, 387-392
• LEE, C. Y. An algorithm for path connections and its applications. IRE Trans. EC. 1961, 346-365

Terms in the title (5)： EB ,  テスト ,  パッド ,  比率 ,  手法