Art

J-GLOBAL ID：200902192274506570   Reference number：01A0758378

Mold Surface Treatment for Imprint Lithography.

インプリントリソグラフィー用のモールドの表面処理

Author (8)： HIRAI Y (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHIDA S (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  OKAMOTO A (Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  TANAKA Y (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  ENDO M (Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN) ,  IRIE S (Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN) ,  NAKAGAWA H (Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN) ,  SASAGO M (Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 14  Issue： 3  Page： 457-462  Publication year： 2001 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *lithography ,...
Semi thesaurus term： インプリントリソグラフィー ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• 1). S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 67, (1995) 3114.
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• 3). M.Colburn, S.Johnson, M.Stewart, S.Damle, T.Bailey, B.Choi, M.Wedlake, T.Michaelson, S.V.Sreenivasan, J.Ekerdt and C.G.Willson, Proc. of SPIE 3676, (1999) 378.
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• 5). A.W.Adamson, Physical Chemistry of Surfaces, Plenum Press, New York, (1990).

Terms in the title (3)： インプリントリソグラフィー ,  モールド ,  表面処理