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J-GLOBAL ID：200902200331401359   Reference number：05A1044013

Outlier Compensation Effect of an Optical Profiling Sensor by Elliptical Spot Irradiation

光触針式輪郭測定センサの楕円照射化による異常値補正効果

Author (2)： FUKATSU HIROYA (東京都工高専) ,  YANAGI KAZUHISA (長岡技科大)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 71  Issue： 12  Page： 1590-1594  Publication year： Dec. 05, 2005 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,...

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JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (8)：

• 深津拡也. スペックルノイズ除去機能を有する光触針式輪郭測定法の研究. 精密工学会誌. 2003, 69, 7, 1008
• 深津拡也. 輪郭形状測定のための光触針式変位センサーの開発. 日本機械学会論文集, C編. 2003, 70, 694, 193
• 深津拡也. 光触針式輪郭測定機の性能向上を目的としたスペックル誤差補正システム. 精密工学会誌. 2004, 70, 5, 716
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• YANG, Chunlan. Diffraction Analysis and Evaluation of a Focus-error Detection Scheme for an Optical Profilometer. Proc. SPIE. 2000, 4221, 180

Terms in the title (5)： 触針 ,  輪郭 ,  測定センサ ,  楕円 ,  異常値