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J-GLOBAL ID：200902248359325715   Reference number：06A0320860

Scanning Capacitance Microscopy Evaluation of Lead Zirconate Titanate Film Formed by Aerosol Deposition Method

エーロゾル堆積法で形成したジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜に関する走査型容量顕微鏡法評価

Author (2)： NAITOU Yuichi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  OGISO Hisato (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 45  Issue： 3B  Page： 1922-1925  Publication year： Mar. 30, 2006 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (3)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Oxide thin films  (BK14050P) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (11)：

• J. Akedo, N. Minami, K. Fukuda, M. Ichiki and R. Maeda: Ferroelectrics 231(1999)285.
• J. Akedo and M. Lebedev: J. Cryst. Growth 235(2002)415.
• J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys.40(2001)5528.
• J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys.38(1999)5397.
• T. Tsuji, H. Ogiso, J. Akedo, S. Saito, K. Fukuda and K. Yamanaka: Jpn. J. Appl. Phys.43(2004)2907.

Terms in the title (5)： エーロゾル堆積法 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  走査型容量顕微鏡 ,  評価