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J-GLOBAL ID：200902254970937122   Reference number：07A0675033

Initial Growth Process of a Zn Nanodot Fabricated using Nonadiabatic Near-field Optical CVD

非断熱近接場光学CVDを用いて作製されたZnナノドットの初期成長過程

Author (5)： KAWAZOE Tadashi (Japan Sci. and Technol. Agency, Tokyo, JPN) ,  KAWAZOE Tadashi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KOBAYASHI Kiyoshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  OHTSU Motoichi (Japan Sci. and Technol. Agency, Tokyo, JPN) ,  OHTSU Motoichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 20  Issue： 1  Page： 129-131  Publication year： 2007 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optics ,...
Semi thesaurus term： *nanodot ,...

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JST classification (2)： Inorganic compounds and elements in general  (CD01010D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： 2Acetylacetone・zinc salt

Reference (7)：

• D. Leonard, M. Krishnamurthy, C. M. Reaves, S. P. Denbaars, and P. M. Petroff, Appl. Phys. Lett., 63(1993)3203.
• T. Tsutsui, K. Kawasaki, M. Mochizuki, and T. Matsubara, Microelectron. Eng., 47(1999)135.
• S. Kohmoto, H. Nakamura, T. Ishikawa, and K. Asakawa, Appl. Phys. Lett., 75(1999)3488.
• E. Kuramochi, J. Temmyo, T. Tamamura, and H. Kamada, Appl. Phys. Lett., 71(1997)1655.
• T. Kawazoe, Y. Yamamoto, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett., 79(2001)1184.

Terms in the title (7)： 近接場光学 ,  CVD ,  作製 ,  Zn ,  ナノドット ,  初期 ,  成長過程