化学増幅型レジスト用共重合体の製造法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金田暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999176931
Publication number (International publication number)：2001002735
Application date： Jun. 23, 1999
Publication date： Jan. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、非常に高感度な化学増幅型レジスト組成物のレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤と併用して下記式(I)から選ばれる少なくとも1種の連鎖移動剤を使用して重合を行うことを特徴とするレジスト用樹脂の製造方法。R-SH (I)(式中、Rは炭素数1〜20の飽和脂肪族炭化水素基を表す。)

Claim (excerpt)：

酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤と併用して下記式(I)から選ばれる少なくとも1種の連鎖移動剤を使用して重合を行うことを特徴とするレジスト用樹脂の製造方法。R-SH (I)(式中、Rは炭素数1〜20の飽和脂肪族炭化水素基を表す。)

IPC (4)：

C08F220/10 , C08F 2/38 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4)：

C08F220/10 , C08F 2/38 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

F-Term (34)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BJ10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025FA17 , 4J011NA25 , 4J011NB04 , 4J100AJ02Q , 4J100AK32Q , 4J100AL03Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL09Q , 4J100BA06Q , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BC02P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC37P , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-074718 Applicant：ジェイエスアール株式会社
芳香族ビニル系化合物・(メタ)アクリレート共重合体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-138880 Applicant：三井化学株式会社, 本州化学工業株式会社
化学増幅型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-011581 Applicant：東京応化工業株式会社

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