プラズマ生成用誘導装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行 , 荒川伸夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2008529236
Publication number (International publication number)：2009510670
Application date： Aug. 30, 2006
Publication date： Mar. 12, 2009
Summary：

トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。

Claim (excerpt)：

トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、電源に連結するように構成されて前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える装置。

IPC (4)：

H05H 1/30 , G01N 21/73 , G01N 27/62 , G01N 21/31

FI (4)：

H05H1/30 , G01N21/73 , G01N27/62 G , G01N21/31 610B

F-Term (20)：

2G041CA01 , 2G041DA14 , 2G041EA03 , 2G041FA17 , 2G041FA19 , 2G041GA03 , 2G043AA01 , 2G043BA05 , 2G043BA07 , 2G043CA04 , 2G043DA05 , 2G043EA08 , 2G043HA01 , 2G043JA01 , 2G043MA01 , 2G059AA01 , 2G059BB08 , 2G059CC03 , 2G059EE06 , 2G059EE12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

誘導結合プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-372680 Applicant：株式会社日立製作所
特開昭61-183896
インダクシヨンプラズマ溶射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-222190 Applicant：株式会社三社電機製作所

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