Pat

J-GLOBAL ID：200903002905568521

機能性酸化物構造体、及び機能性酸化物構造体の製造方法

Inventor： 舟窪 浩 ,  中木 寛 ,  藤澤 隆志 ,  加茂 嵩史 ,  坂下 幸雄
Applicant, Patent owner： 富士フイルム株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
Agent (2)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008052318
Publication number (International publication number)：2009208985
Application date： Mar. 03, 2008
Publication date： Sep. 17, 2009
Summary：

【課題】正方晶系の結晶構造を有する膜厚500nm以上の、(001)単一配向の機能性酸化物膜を備えた機能性酸化物構造体を提供する。【解決手段】機能性酸化物構造体1は、基板10上に、膜厚が500nm以上の正方晶系の結晶系を有する機能性酸化物膜30が成膜されたものであって、機能性酸化物膜30が、(001)単一配向の結晶配向性を有することを特徴とするものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に、膜厚が500nm以上の正方晶系の結晶系を有する機能性酸化物膜が成膜された機能性酸化物構造体において、 前記機能性酸化物膜が、(001)単一配向の結晶配向性を有することを特徴とする機能性酸化物構造体。

IPC (15)：

C30B 29/32 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/52 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/08 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  G02F 1/03 ,  G02F 1/355 ,  H01L 21/316

FI (14)：

C30B29/32 D ,  C23C14/08 K ,  C23C14/54 D ,  C23C16/40 ,  C23C16/52 ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L27/10 444C ,  G02F1/03 501 ,  G02F1/355 501 ,  H01L21/316 X

F-Term (63)：

2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079DA02 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002FA02 ,  2K002GA07 ,  2K002HA13 ,  4G077AA03 ,  4G077AB02 ,  4G077AB03 ,  4G077AB10 ,  4G077BC34 ,  4G077BC36 ,  4G077BC38 ,  4G077BC41 ,  4G077BC42 ,  4G077BC43 ,  4G077BC47 ,  4G077BC48 ,  4G077BC50 ,  4G077BC60 ,  4G077DA11 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA11 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB09 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4K030BA42 ,  4K030BB02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF06 ,  5F058BF12 ,  5F083FR00 ,  5F083GA11 ,  5F083GA27 ,  5F083HA10 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43 ,  5F083JA44 ,  5F083JA45 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• アナターゼ型結晶構造の酸化チタン単結晶薄膜の作製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-213765   Applicant：日本原子力研究所
• 機能性酸化物構造体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-052319   Applicant：富士フイルム株式会社, 国立大学法人東京工業大学
• 圧電体、圧電体素子、それを用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-227071   Applicant：キヤノン株式会社
• 強誘電体薄膜およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-039802   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• 電子デバイス用基板、電子デバイス、強誘電体メモリ、電子機器、インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-044370   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 薄膜機能部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-310650   Applicant：株式会社リコー, リコー応用電子研究所株式会社