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J-GLOBAL ID:200903003376881070

顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置および走査顕微鏡の照明装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 武久 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001183690
Publication number (International publication number):2002055284
Application date: Jun. 18, 2001
Publication date: Feb. 20, 2002
Summary:
【要約】【課題】従来アドレス化が不可能であったスペクトル範囲を使用できる走査顕微鏡の照明装置を提供する。【解決手段】レーザー(1)と光学的手段(12)の間に、レーザー(1)によって生じた光を、最初の通過時にスペクトル拡散させる光学要素(3)を設ける。
Claim (excerpt):
レーザー(1)と、レーザー(1)によって生じた光を被検査対象物である試料(13)に結像させる光学的手段(12)とを備えた、顕微プレパラートを検査するための走査顕微鏡において、レーザー(1)と光学的手段(12)の間に、レーザー(1)によって生じた光を、最初の通過時にスペクトル拡散させる光学要素(3,20)が設けられていることを特徴とする走査顕微鏡
IPC (3):
G02B 21/06 ,  G02B 5/00 ,  G02B 6/00 376
FI (3):
G02B 21/06 ,  G02B 5/00 Z ,  G02B 6/00 376 Z
F-Term (15):
2H042AA01 ,  2H042AA07 ,  2H042AA21 ,  2H050AC13 ,  2H050AC62 ,  2H050AC83 ,  2H052AA07 ,  2H052AC25 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AC30 ,  2H052AC34 ,  2H052AD19 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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