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J-GLOBAL ID：200903003445477642

ペロブスカイト型酸化物膜の基板表面構造とその基板およびペロブスカイト型酸化物膜

Inventor：
牧 一誠

About 牧 一誠

, 
曽山 信幸

About 曽山 信幸

, 
藤田 悟史

About 藤田 悟史


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 千葉 博史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001029988
Publication number (International publication number)：2002234709
Application date： Feb. 06, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：
【要約】【課題】 基板表面に成膜するペロブスカイト型酸化物膜に対して優れた密着性を有する基板表面構造とその基板、およびペロブスカイト型酸化物膜を提供する。【解決手段】 表面にペロブスカイト型酸化物の金属酸化物が成膜される基板において、ペロブスカイト型酸化物膜に接する電極層、基板の表面酸化層に接する密着層、この密着層と電極層との間に介在するアルミナ層を介在させる。
Claim (excerpt)：
ペロブスカイト型酸化物が成膜される基板において、ペロブスカイト型酸化物膜に接する電極層、基板の表面酸化層に接する密着層、この密着層と電極層との間に介在するアルミナ層を有することを特徴とする基板の表面構造。
IPC (7)：
C01B 13/14 ,  C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C04B 35/46 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/08
FI (8)：
C01B 13/14 Z ,  C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C04B 35/46 C ,  C04B 35/46 H ,  H01L 21/316 G ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 41/08 D
F-Term (42)：
4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA09 ,  4G031CA03 ,  4G031CA08 ,  4G031GA01 ,  4G031GA05 ,  4G042DA02 ,  4G042DB05 ,  4G042DB06 ,  4G042DB08 ,  4G042DB22 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DD10 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  5F058BA10 ,  5F058BA11 ,  5F058BC01 ,  5F058BF12 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ10 ,  5F083FR01 ,  5F083GA25 ,  5F083JA13 ,  5F083JA15 ,  5F083JA31 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA43 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (8)
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