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J-GLOBAL ID：200903003704661872

特殊表面形状の創成方法及び光学素子

Inventor：
梅木 和博

About 梅木 和博


Applicant, Patent owner：
リコー光学株式会社

About リコー光学株式会社


Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000067262
Publication number (International publication number)：2001255660
Application date： Mar. 10, 2000
Publication date： Sep. 21, 2001
Summary：
【要約】【課題】感光性材料層あるいは基板上に、高さ方向に滑らかに連続的に変化する3次元構造の特殊表面形状を容易に創成することができる新規な創成方法を実現する。【解決手段】所望の3次元構造の特殊表面形状を形成すべき基板材料10の表面上に所定の厚さに感光性材料を塗布して感光性材料層11を形成し、上記特殊表面形状に対応して光透過率が段階的に変化する露光用マスクを用いて感光性材料層11に所定の光透過率分布のマスクパターンLFを露光し、目的とする特殊表面形状に応じて感光性材料層11の厚さを変化せしめる特殊表面形状の創成方法において、感光性材料層11へ露光用マスクのパターンLFを露光する際に、デフォーカスして露光パターンを僅かに焦点ボケさせ、上記マスクパターンの光透過率分布の段差を解消する。
Claim (excerpt)：
所望の3次元構造の特殊表面形状に対応して光透過率が段階的に変化する露光用マスクを用いて基板上の感光性材料層にパターンを露光する際に、露光パターンを焦点ずらしさせ、光透過率分布の段差を解消することを特徴とする特殊表面形状の創成方法。
IPC (4)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 3/00 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/40 521
FI (4)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/40 521
F-Term (29)：
2H087KA22 ,  2H087LA01 ,  2H087PA01 ,  2H087PA17 ,  2H087PB01 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA34 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087UA01 ,  2H096AA28 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096CA20 ,  2H096EA11 ,  2H096EA30 ,  2H096HA23 ,  2H097BA01 ,  2H097FA02 ,  2H097LA12 ,  2H097LA16 ,  2H097LA17 ,  9A001BB06 ,  9A001JJ48 ,  9A001JJ50 ,  9A001KK16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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