炭素細長構造束状体、その製造方法および電子素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：土井健二 , 林恒徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006325297
Publication number (International publication number)：2008137846
Application date： Dec. 01, 2006
Publication date： Jun. 19, 2008
Summary：

【課題】カーボンナノチューブ(CNT)等の炭素細長構造体を高密度に配した良好な電気的接続構造および/または熱的接続構造体を提供する。【解決手段】炭素細長構造体は、化学気相成長法で得られ、真空度、原料組成、触媒組成、触媒層膜厚、触媒担持層組成、触媒担持層膜厚、成長温度、希釈ガス組成、ガス流量および希釈ガス濃度からなる条件の少なくとも一つを調整することにより、先端部分が炭素ネットワークにより互いに繋がる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

一方の先端部分が炭素ネットワークにより互いに繋がっている炭素細長構造束状体。

IPC (7)：

C01B 31/02 , H01L 21/60 , H01L 23/36 , H01B 1/04 , H05K 3/14 , B01J 23/75 , B01J 37/02

FI (8)：

C01B31/02 101F , H01L21/60 321E , H01L23/36 C , H01B1/04 , H05K3/14 Z , B01J23/74 311M , B01J37/02 301P , C01B31/02 101Z

F-Term (32)：

4G146AA11 , 4G146AD20 , 4G146AD22 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC23 , 4G146BC27 , 4G146BC32B , 4G146BC38B , 4G146BC42 , 4G146BC44 , 4G169AA03 , 4G169AA08 , 4G169BB02B , 4G169BC67B , 4G169CB81 , 4G169DA05 , 4G169FB01 , 4G169FB03 , 5E343BB58 , 5E343BB68 , 5E343DD80 , 5E343GG13 , 5E343GG20 , 5F136BB02 , 5F136DA16 , 5F136EA62 , 5F136FA25 , 5G301BA01 , 5G301BA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

集積回路装置及び集積回路装置製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135322 Applicant：富士通株式会社
光化学アブレーションによるカーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-187088 Applicant：学校法人大阪産業大学
ストリップライン構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-037486 Applicant：富士通株式会社

Cited by examiner (6)

集積回路装置及び集積回路装置製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135322 Applicant：富士通株式会社
有機液体による高配向整列カーボンナノチューブの合成方法及びその合成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-193629 Applicant：科学技術振興事業団, 独立行政法人物質・材料研究機構
ストリップライン構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-037486 Applicant：富士通株式会社

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