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J-GLOBAL ID：200903005637024857

ガス成分測定装置

Inventor：
藤岡 知夫

About 藤岡 知夫

, 
山口 滋

About 山口 滋


Applicant, Patent owner：
財団法人応用光学研究所

About 財団法人応用光学研究所


Agent (1)： 役 昌明 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001225118
Publication number (International publication number)：2003042950
Application date： Jul. 25, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：
【要約】【課題】 取り扱いが容易で、例えば3μm以上の赤外領域において高いスペクトル純度で波長掃引が可能な光源を用いた微量ガスの測定装置を提供すること。【解決手段】 第1波長のレーザ光線を放射する第1レーザ光源1および第1波長と異なる第2波長のレーザ光線を放射する第2レーザ光源2と、レーザ光源の何れかの出力波長を一定範囲内で掃引させる掃引手段9と、2つのレーザ光線を合波する光合波器3と、合波された2つのレーザ光線より両者の差周波数の光線を発生させる非線型光学素子5と、この差周波数の光線を試料ガスに照射するための多重反射試料セル7と、この試料セル7を透過した光線の強度を測定する光検出器8と、この光検出器8の出力に基づいて測定結果の解析を行う手段9と具備し、出力波長が掃引されたレーザ光線の試料ガスに含まれる微量ガス成分による吸収に基づいて含まれる微量ガス成分を検出し定量するものである。
Claim (excerpt)：
第1波長のレーザ光線を放射する第1レーザ光源および該第1波長と異なる第2波長のレーザ光線を放射する第2レーザ光源と、上記レーザ光源の何れかの出力波長を一定範囲内で掃引させる掃引手段と、上記2つのレーザ光線を合波する光合波器と、合波された上記2つのレーザ光線より両者の差周波数の光線を発生させる非線型光学素子と、該差周波数の光線を試料ガスに照射するための多重反射試料セルと、該試料セルを透過した光線の強度を測定する光検出器と、該光検出器の出力に基づいて測定結果の解析を行う手段と具備し、出力波長が掃引されたレーザ光線の試料ガスに含まれる微量ガス成分による吸収に基づいて含まれる微量ガス成分を検出し定量するガス成分測定装置。
IPC (4)：
G01N 21/35 ,  G01N 21/03 ,  G01N 21/15 ,  G02F 1/37
FI (4)：
G01N 21/35 Z ,  G01N 21/03 B ,  G01N 21/15 ,  G02F 1/37
F-Term (29)：
2G057AA01 ,  2G057AB02 ,  2G057AB04 ,  2G057AB06 ,  2G057AC03 ,  2G057BA01 ,  2G057DA11 ,  2G057EA06 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059DD12 ,  2G059DD18 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL04 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002HA19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (20)
  • 差周波光発生装置およびこれを用いた赤外吸収分析装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-144678   Applicant：三井化学株式会社
  • 半導体レーザ多重反射吸収分光によるガス分析方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-313089   Applicant：日本酸素株式会社
  • 特開平2-307024
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