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J-GLOBAL ID:200903005688430647
アルミナ分散研磨液およびアルミナ分散研磨液の製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
福村 直樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998157909
Publication number (International publication number):1999349926
Application date: Jun. 05, 1998
Publication date: Dec. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】 沈降及び凝集等がなくて長期保存性に優れ、被加工物に表面欠陥を生じさせることのないアルミナ分散研磨液及びその製造方法の提供。【解決手段】 窒素原子含有モノカルボン酸、及び水系分散媒に分散され、微細なアルミナを含有し、弱酸性に調整されてなるアルミナ分散砥粒液、及び前記各成分を混合し分散処理する製造方法。
Claim (excerpt):
窒素原子を含むモノカルボン酸、及び水系分散媒に分散された5〜100nmの平均一次粒径を有するアルミナを含有し、pH3〜6に調整されてなることを特徴とするアルミナ分散研磨液。
IPC (2):
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
FI (2):
C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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銅系金属用研磨液および半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-135038
Applicant:株式会社東芝
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アルミナゾルおよび記録シート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-080266
Applicant:旭硝子株式会社
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特開昭61-283335
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フッ化物添加剤を含む化学的・機械的研磨用スラリーとその使用方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-147688
Applicant:キャボットコーポレイション
-
パターニングされた絶縁体層内に金属ラインを形成する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-181491
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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タングステンの蝕刻抑制剤を含むポリシング組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-212514
Applicant:キャボットコーポレイション
-
銅系基板に有用な化学的・機械的研磨用スラリー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-338809
Applicant:キャボットコーポレイション
-
研磨液
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-082785
Applicant:株式会社東芝, 多摩化学工業株式会社
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