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J-GLOBAL ID：200903059740550357

研磨液

Inventor： 平林 英明 ,  長 俊連 ,  清水 駿平
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  多摩化学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997082785
Publication number (International publication number)：1998279926
Application date： Apr. 01, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【目的】 金属膜を研磨できると共に表面への傷発生を抑制することが可能な研磨液を提供しようとものである。【構成】 コロイダルアルミナおよび水を含有することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

コロイダルアルミナおよび水を含有することを特徴とする研磨液。

IPC (6)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 57/02 ,  C09K 13/06 101 ,  H01L 21/304 321 ,  H05K 3/10

FI (6)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 57/02 ,  C09K 13/06 101 ,  H01L 21/304 321 P ,  H05K 3/10 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

• 特開平3-115383
  
• 特公平4-038788
  
• 研磨用組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-282610   Applicant：セイミケミカル株式会社
• 研磨用組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-012878   Applicant：株式会社フジミインコーポレーテッド
• 金属層用化学・機械研磨スラリー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-258875   Applicant：キャボットコーポレイション
• 銅系金属用研磨液および半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-135038   Applicant：株式会社東芝
• 配線の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-238263   Applicant：住友金属工業株式会社
• 研磨剤および研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-055290   Applicant：株式会社東芝
• 研磨材及び研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-343621   Applicant：三井金属鉱業株式会社
• フッ化物添加剤を含む化学的・機械的研磨用スラリーとその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-147688   Applicant：キャボットコーポレイション