アクチュエータおよびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：増田達哉 , 朝比一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005160530
Publication number (International publication number)：2006334697
Application date： May. 31, 2005
Publication date： Dec. 14, 2006
Summary：

【課題】低電圧駆動が可能で、かつ、容易に製造することができるアクチュエータおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】スペーサを介して支持基板4に固定された第2の支持部31、32と、スペーサを介さずに支持基板4に固着されている固着部33、34と、固着部33、34に一体形成され、可動側櫛歯状電極211、212に間隔を隔てて噛み合う固定側櫛歯状電極331、341と、固着部33、34を第2の支持部31、32に接続する接続部35、36とを有し、固着部33、34は、接続部35、36を撓ませながら第2の支持部31、32に対し支持基板4側に変位した状態で支持基板4に固着し、これにより、固定側櫛歯状電極331、341を可動側櫛歯状電極211、212に対し支持基板4の板厚方向でずれるように初期変位させている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

支持基板と、前記支持基板上に設けられたスペーサと、前記スペーサを介して前記支持基板に固定された第1の支持部と、可動側櫛歯状電極を有し、前記第1の支持部に対して回動可能な質量部と、前記質量部を前記第1の支持部に対し回動可能とするように、前記第1の支持部と前記質量部とを連結する弾性連結部と、前記スペーサを介して前記支持基板に固定された第2の支持部と、前記スペーサを介さずに前記支持基板に固着されている固着部と、前記固着部に一体形成または接続され、前記可動側櫛歯状電極に間隔を隔てて噛み合う固定側櫛歯状電極と、前記固着部を前記第2の支持部に直接的または間接的に接続する接続部とを有し、前記固着部は、前記接続部を撓ませながら前記第2の支持部に対し前記支持基板側に変位した状態で前記支持基板に固着し、これにより、前記固定側櫛歯状電極を前記可動側櫛歯状電極に対し前記支持基板の板厚方向でずれるように初期変位させており、前記可動側櫛歯状電極と前記固定側櫛歯状電極との間に交流電圧を印加することによって、前記質量部を回動させることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , H02N 1/00

FI (3)：

B81B3/00 , B81C1/00 , H02N1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

マイクロミラー素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-170291 Applicant：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社

Cited by examiner (4)

マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子駆動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-001440 Applicant：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
アクチュエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-369545 Applicant：セイコーエプソン株式会社
光スキャナとその駆動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-205707 Applicant：日本電気株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

A novel fabrication method of a vertical comb drive using a single SOI wafer for optical MEMS applic
Self-assembly technique for MEMS vertical comb electrostatic actuator

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