容量式湿度センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004054664
Publication number (International publication number)：2005241576
Application date： Feb. 27, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】複数系統の雰囲気を同時計測することが可能で、小型化された安価な容量式湿度センサを提供する。【解決手段】湿度によってその容量が変化する湿度センサ素子10a,10bと、湿度によってその容量が変化しないか、又は、湿度によってその容量の変化が湿度センサ素子よりも少ない基準容量素子20a,20bと、湿度センサ素子10a,10bおよび基準容量素子20a,20bの容量差を電圧に変換するCV変換回路30とを有する容量式湿度センサ101であって、湿度センサ素子10a,10b、基準容量素子20a,20bおよびCV変換回路30が、同じ半導体基板1の一方の面側に形成され、湿度センサ素子10a,10bが複数個である容量式湿度センサ101とする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

湿度によってその容量が変化する湿度センサ素子と、湿度によってその容量の変化が前記湿度センサ素子よりも少ない基準容量素子と、前記湿度センサ素子および基準容量素子の容量差を電圧に変換するCV変換回路とを有する容量式湿度センサであって、前記湿度センサ素子、基準容量素子およびCV変換回路が、同じ半導体基板の一方の面側に形成され、前記湿度センサ素子が、複数個であることを特徴とする容量式湿度センサ。

IPC (1)：

G01N27/22

FI (1)：

G01N27/22 A

F-Term (9)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BA09 , 2G060BB08 , 2G060HC10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

容量式湿度センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-043973 Applicant：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所

Cited by examiner (8)

絶対湿度センサ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-544014 Applicant：エルジーエレクトロニクスインコーポレーテッド
特公平8-023542
容量式湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-182032 Applicant：株式会社デンソー

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