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J-GLOBAL ID：200903007240795060

板材の自立補助機構及び欠陥検査装置

Inventor：
神崎 豊樹

About 神崎 豊樹

, 
中嶋 嘉之

About 中嶋 嘉之


Applicant, Patent owner：
株式会社堀場製作所

About 株式会社堀場製作所


Agent (2)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005278503
Publication number (International publication number)：2007084333
Application date： Sep. 26, 2005
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：
【課題】 簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に保持することができる板材の自立補助機構を提供することである。【解決手段】 板材Wが載置される載置部材6に当該板材Wの下端W2を載置して立て掛けられ、その板材Wが鉛直に起立した状態で、その一方の面Waの上端部Wa1を支持する支持部材7と、前記板材Wの他方の面Wbの上端部Wb1に接触して前記支持部材7との間で前記板材Wを挟み込み、前記板材Wが前記支持部材7から離れないように保持する保持部材8とを備えている。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
板材が起立して載置される載置部材と、 前記板材の一方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材を鉛直に立て掛けうるように支持して、前記一方の面側から前記板材の自立を補助する支持部材と、 前記板材の他方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材が前記支持部材から離れないように保持して、前記他方の面側から前記板材の自立を補助する保持部材と、を備えている板材の自立補助機構。
IPC (6)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/956 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/027 ,  G01N 21/89
FI (6)：
B65G49/06 A ,  H01L21/66 J ,  G01N21/956 A ,  H05K3/00 Q ,  H01L21/30 502V ,  G01N21/89 T
F-Term (13)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CA07 ,  2G051DA05 ,  2G051DA20 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (9)
  • 基板表面の平坦度測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-238016   Applicant：東芝セラミックス株式会社
  • 特開平2-101164
  • 基板搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-045561   Applicant：株式会社ニコン
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