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J-GLOBAL ID：200903007284541286

表示装置及びその作製方法

Inventor：
藤川 最史

About 藤川 最史

, 
細谷 邦雄

About 細谷 邦雄


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006298961
Publication number (International publication number)：2007165860
Application date： Nov. 02, 2006
Publication date： Jun. 28, 2007
Summary：
【課題】表示装置において、低抵抗材料を配線に用いることが望まれてきたが、これまでは、有効な配線形成の手段が存在しなかった。【解決手段】第1の導電膜を形成し、第1の導電膜上に選択的にレジストを形成し、第1の導電膜及びレジスト上に第2の導電膜を形成し、レジストを除去すると共にレジスト上に形成された第2の導電膜を除去し、第1の導電膜上に形成された第2の導電膜を覆うように第3の導電膜を形成し、第1の導電膜及び第3の導電膜を選択的にエッチングし、複数の配線及び電極を形成する。これにより、大型パネルに低抵抗材料を用いた配線を形成することができるため、信号遅延等の問題を解決できる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
第1の導電膜を形成し、 前記第1の導電膜上に選択的にレジストを形成し、 前記第1の導電膜及び前記レジスト上に第2の導電膜を形成し、 前記レジストを除去することで前記レジスト上に形成された第2の導電膜を除去し、 前記第1の導電膜上に形成された前記第2の導電膜を覆うように第3の導電膜を形成し、 前記第1の導電膜及び前記第3の導電膜を選択的にエッチングし、複数の配線及び電極を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
IPC (7)：
H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/134 ,  G02F 1/136 ,  G09F 9/30
FI (11)：
H01L21/88 G ,  H01L21/88 R ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 612D ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 617J ,  H01L29/78 617L ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338
F-Term (125)：
2H092GA25 ,  2H092GA27 ,  2H092GA34 ,  2H092GA42 ,  2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092HA18 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA04 ,  2H092MA13 ,  2H092NA28 ,  5C094AA13 ,  5C094AA14 ,  5C094AA21 ,  5C094AA31 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA10 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5C094JA09 ,  5F033GG03 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH22 ,  5F033HH27 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR20 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033SS22 ,  5F033TT02 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033XX10 ,  5F033XX20 ,  5F033XX27 ,  5F110AA03 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF07 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK21 ,  5F110HK25 ,  5F110HK27 ,  5F110HM15 ,  5F110HM19 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (11)
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