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J-GLOBAL ID:200903007837875935
窒化物半導体レーザ素子及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002297129
Publication number (International publication number):2004134555
Application date: Oct. 10, 2002
Publication date: Apr. 30, 2004
Summary:
【課題】端面劣化が少なく、良好なFFPが得られる窒化物半導体レーザ素子を提供する。【解決手段】n型半導体層、活性層、及びp型半導体層からなる窒化物半導体層にリッジストライプからなる導波路領域を有し、導波路領域の共振器面に活性層よりもバンドギャップの広い窒化物半導体からなるウインドウ領域を有する窒化物半導体レーザ素子であって、窒化物半導体層は、一部が前記共振器面よりも突出するn型半導体層突出部を有し、ウインドウ領域は、p型半導体層の端面から、n型半導体層突出部より活性層側のn型半導体層の端面までの端面領域に形成されていることを特徴とする。これにより、端面劣化が少なく、ウインドウ領域内を伝搬する光が出射部以外から外部に放出されにくい窒化物半導体レーザ素子を得ることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
n型半導体層、活性層、及びp型半導体層からなる窒化物半導体層にリッジストライプからなる導波路領域を有し、該導波路領域の共振器面に前記活性層よりもバンドギャップの広い窒化物半導体からなるウインドウ領域を有する窒化物半導体レーザ素子であって、
前記窒化物半導体層は、一部が前記共振器面よりも突出するn型半導体層突出部を有し、
前記ウインドウ領域は、前記p型半導体層の端面から、前記n型半導体層突出部より活性層側のn型半導体層の端面までの端面領域に形成されていることを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (11):
5F073AA13
, 5F073AA45
, 5F073AA74
, 5F073AA87
, 5F073CA07
, 5F073CB05
, 5F073CB20
, 5F073DA05
, 5F073DA33
, 5F073EA24
, 5F073EA28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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窒化物半導体レーザ素子、及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-323923
Applicant:日亜化学工業株式会社
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特開昭64-000785
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窒化物半導体レ-ザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-098517
Applicant:松下電子工業株式会社
-
半導体装置の製造方法,半導体レーザの製造方法,及び量子細線構造の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-173886
Applicant:三菱電機株式会社
-
窒化物半導体素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-031377
Applicant:ソニー株式会社
-
窒化物半導体の成長方法及びそれを用いた素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-077001
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-069644
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
半導体量子ドット素子の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-290370
Applicant:富士通株式会社
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