ハンドリング用ロボット

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：浜本忠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996065700
Publication number (International publication number)：1997272084
Application date： Mar. 22, 1996
Publication date： Oct. 21, 1997
Summary：

【要約】【課題】ハンドリング用ロボットAを旋回することなくステーション内のウエハを交換することができるようにする。【解決手段】 3個のボス20a,20b,20cを回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、第1のボス20aに第1のアーム26aを、第2のボス20bに第2,第3のアーム26b,26cを、第3のボス26cに第4のアーム26dを、それぞれのボスに対して放射方向に、かつ第2,第3の両アームは第2のリング状ボスに対して直径方向両側に、また第3と第4のアームもボスの直径方向両側に設け、第1,第2のアームの長さをR1 ,R1 ′とし、第3,第4のアームの長さをR2 ,R2 ′として、R1 >R2 、R1 ′>R2 ′とし、第1,第2のアームの先端にリンクを介して第1の搬送台8aを、第3,第4のアームの先端にリンクを介して第2の搬送台8bを、回転中心の軸方向に隣接して重ね合う状態に連結し、上記各ボスに駆動源を連結する。

Claim (excerpt)：

第1,第2,第3のボスを同心状で、かつそれぞれ独立して回転するようにして回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、第1のボスに第1のアームを、第2のボスに第2,第3のアームを、第3のボスに第4のアームを、それぞれのボスに対して放射方向に、かつ第2,第3の両アームは第2のボスに対して直径方向両側に位置して設け、上記第1,第2のアームの長さをそれぞれのR1 ,R1 ′とし、第3,第4のアームの長さをそれぞれR2 ,R2 ′とすると共に、R1 >R2 、R1 ′>R2′とし、第1,第2のアームの先端にリンクを介して第1の搬送台を、また第3,第4のアームの先端にリンクを介して第2の搬送台を、この両搬送台が、第1と第2のアームがボスの直径方向両側に位置し、さらに第3と第4のアームもボスの直径方向両側に位置した状態で、これらを結ぶ線より搬送台の突出動方向へずれた位置となると共に、回転中心の軸方向に隣接して重ね合う状態となるようにして連結し、上記各ボスに駆動源を連結したことを特徴とするハンドリング用ロボット。

IPC (3)：

B25J 9/06 , B25J 17/00 , B25J 18/02

FI (3)：

B25J 9/06 A , B25J 17/00 H , B25J 18/02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-083182
ウエハ移載ロボツト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-266639 Applicant：日本電気株式会社
ウェーハ受渡し機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-119118 Applicant：九州日本電気株式会社

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Cited by examiner (7)

特開平2-083182
ウエハ移載ロボツト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-266639 Applicant：日本電気株式会社
ウェーハ受渡し機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-119118 Applicant：九州日本電気株式会社

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