針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000205935
Publication number (International publication number)：2001348296
Application date： Jul. 06, 2000
Publication date： Dec. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】より簡易な方式でマイクロ波プラズマにより表面を処理することにより針状構造又は繊毛状構造の表面を有するダイヤモンド又は炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイスを提供する。【解決手段】針状表面を有するダイヤモンドは、負の電圧を印加し、基板の温度を-50乃至800°Cに維持し、圧力が66.5乃至665Paの水素ガスによるマイクロ波プラズマにより表面処理されて表面に針状構造が形成されたものである。又は、繊毛状表面を有する炭素系材料は、炭素系素材に負電圧を印加しつつ、基板の温度を-50乃至1000°Cに維持し、圧力が1330Pa以下の水素又は水素を主成分とする混合ガスのプラズマにより表面処理されて表面に繊毛状構造が形成されたものである。

Claim (excerpt)：

負の電圧を印加し、基板の温度を-50乃至800°Cに維持し、圧力が66.5乃至665Paの水素ガスによるマイクロ波プラズマにより表面処理されて表面に針状構造が形成されたものであること特徴とする針状表面を有するダイヤモンド。

IPC (10)：

C30B 29/04 , C01B 31/02 101 , C01B 31/04 101 , C01B 31/06 , C23C 16/02 , C23C 16/27 , C23C 16/511 , G01N 27/30 , H01M 4/88 , C25D 11/04

FI (10)：

C30B 29/04 B , C01B 31/02 101 Z , C01B 31/04 101 Z , C01B 31/06 A , C23C 16/02 , C23C 16/27 , C23C 16/511 , G01N 27/30 B , H01M 4/88 C , C25D 11/04 Z

F-Term (39)：

4G046CA01 , 4G046CA02 , 4G046CB01 , 4G046CB09 , 4G046CC06 , 4G046EA05 , 4G046EB13 , 4G046EC01 , 4G046EC06 , 4G046GA01 , 4G046GB01 , 4G046GB07 , 4G077AA04 , 4G077BA03 , 4G077DB07 , 4G077DB19 , 4G077EB01 , 4G077HA05 , 4K030AA10 , 4K030AA17 , 4K030AA20 , 4K030BA28 , 4K030BB12 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030DA04 , 4K030DA08 , 4K030FA01 , 4K030JA06 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA17 , 5H018AA02 , 5H018AS01 , 5H018BB07 , 5H018EE05 , 5H018HH05 , 5H018HH08 , 5H018HH09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平1-246116
電子エミッタ素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-176973 Applicant：株式会社神戸製鋼所
カ-ボン材料とその製造方法、及びそれを用いた電界放出型冷陰極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-347955 Applicant：日本電気株式会社

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