紫外レーザー光源

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三品岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995140805
Publication number (International publication number)：1996334803
Application date： Jun. 07, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】露光機の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを備えた紫外光を、長時間安定して発生することができ、かつ、小型でメインテナンスが容易な紫外レーザー光源を提供する。【構成】10本×10本で計100本のレーザー要素から構成されており、各レーザー要素は、可視光あるいは赤外光の長波長光を発生するレーザー光発生部100と、発生したレーザー光を紫外光へ変換する波長変換部14とを有し、レーザー光発生部100は、半導体レーザー11、光ファイバー12、及び、固体レーザー13を有し、波長変換部14は、入射光の波長を変換して出力する非線形結晶を含んで構成される。

Claim (excerpt)：

赤外から可視までの波長範囲内の光を発生するレーザー光発生部と、前記発生した光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換光学系とを有するレーザー要素を複数並列に束ねて構成したことを特徴とする紫外レーザー光源。

IPC (5)：

G02F 1/37 , H01S 3/07 , H01S 3/108 , H01S 3/16 , H01S 3/18

FI (5)：

G02F 1/37 , H01S 3/07 , H01S 3/108 , H01S 3/16 , H01S 3/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体露光装置及び露光方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-309798 Applicant：ソニー株式会社
半導体露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-308743 Applicant：ソニー株式会社
高調波発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-197729 Applicant：旭硝子株式会社

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