Pat
J-GLOBAL ID:200903011217443455

ビームモニター装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000191309
Publication number (International publication number):2002006051
Application date: Jun. 26, 2000
Publication date: Jan. 09, 2002
Summary:
【要約】【課題】高電圧電極と電荷収集電極の間の距離を均一に保つことが可能になり、精度の良い線量測定、ビーム位置、形状測定を可能にするビームモニター装置を提供すること。【解決手段】両面をスリット加工した第1の電極(4)を第2の電極(3)で挟み、前記第1の電極と前記第2の電極を所定距離をもって保持する構成とし、前記第2の電極に電圧が印加されることで、前記第1の電極から各スリットごとの電離電流を取り出す位置検出部を備え、前記位置検出部を互いに直交する方向に一対設け、ビームの位置を検出する位置モニターと、第3の電極(5)を前記第2の電極で挟み、前記第3の電極と前記第2の電極を所定距離をもって保持する構成とし、前記第2の電極に電圧が印加されることで、前記第3の電極から電離電流の総和を取り出す線量検出部を備えた線量モニターと、を具備。
Claim (excerpt):
容器内に、複数の電極基板を組み合わせて構成され、前記電極基板のうち一枚を両面をスリット加工した第1の電極とし、この第1の電極を前記電極基板のうち二枚からなる第2の電極で挟み、前記第1の電極と前記第2の電極を所定距離をもって保持する構成とし、前記第2の電極に電圧が印加されることで、前記第1の電極から各スリットごとの電離電流を取り出す位置検出部を備え、前記位置検出部を互いに直交する方向に一対設け、ビームの位置を検出する位置モニターと、前記電極基板のうち一枚を第3の電極とし、この第3の電極を前記第2の電極で挟み、前記第3の電極と前記第2の電極を所定距離をもって保持する構成とし、前記第2の電極に電圧が印加されることで、前記第3の電極から電離電流の総和を取り出す線量検出部を備えた線量モニターと、を具備したことを特徴とするビームモニター装置。
IPC (3):
G01T 1/29 ,  A61N 5/10 ,  G01T 1/18
FI (4):
G01T 1/29 A ,  G01T 1/29 B ,  A61N 5/10 Q ,  G01T 1/18 D
F-Term (13):
2G088EE01 ,  2G088FF12 ,  2G088FF13 ,  2G088GG02 ,  2G088GG03 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK32 ,  2G088KK35 ,  4C082AC05 ,  4C082AE01 ,  4C082AP01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (17)
  • 特開昭64-029788
  • 荷電粒子ビームモニタ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-194046   Applicant:三菱電機株式会社
  • 特開平3-255977
Show all

Return to Previous Page