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J-GLOBAL ID：200903047477356208

画像検査装置

Inventor：
小濱 禎晃

About 小濱 禎晃

, 
浜島 宗樹

About 浜島 宗樹


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998001356
Publication number (International publication number)：1998255709
Application date： Jan. 07, 1998
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ステージ動作中の試料の位置ずれを高速に補正し、高い検査精度を得る画像検査装置を提供する。【解決手段】 一次ビーム100を試料6の所定領域に照射する一次コラム3には一次ビーム100を偏向させるための偏向器2a,20aが設けられ、試料6からの二次ビーム110を電子検出器59に導く二次コラム4には二次ビーム110を偏向させるための偏向器21a,22aが設けられており、アライメント制御系23が、位置検出系から得られた試料6の位置ずれ情報に基づいて、各偏向器2a,20a,21a,22aを制御し、二次ビーム110により形成される電子像の位置及び回転角を補正する。
Claim (excerpt)：
試料表面に設けられた複数のパターンを電子ビームを利用して順次検査する画像検査装置であって、電子ビームを照射し所定の結像面上に該電子ビームにより形成される電子像を結像させるとともに、該電子ビームを偏向させるための第1のアライメント用偏向器を有する照射系と、前記試料が搭載可能であって、該試料表面と前記結像面とが略一致した状態で、該試料を移動させるステージと、前記電子ビームが照射される前記試料上の電子ビーム照射領域からの二次電子、反射電子、及び後方散乱電子の少なくともいずれかを検出するとともに、前記電子ビーム照射領域から到達した前記二次電子、反射電子、及び後方散乱電子の少なくともいずれかを増倍するマイクロチャネルプレート、前記マイクロチャネルプレートにより増倍されかつ出力された電子群を光変換する蛍光部、前記マイクロチャネルプレートとともに前記蛍光部を挟むように配置され、前記蛍光部により励起された光を受光するTDIアレイCCD、及び、前記電子ビーム照射領域からの電子ビームを偏向させるための第2のアライメント偏向器とを有する電子検出系と、前記電子検出系からの出力信号に基づいて前記試料上の電子ビーム照射領域に含まれる検査対象領域の画像を表示する画像表示系と、前記位置検出系から得られた前記ステージの位置ずれ情報に基づいて、前記電子ビーム照射領域からの電子ビームによって形成される該電子ビーム照射領域の像であって前記電子検出系により検出されるべき電子像の位置及び回転角を補正すべく、前記第1及び第2のアライメント用偏向器をそれぞれ独立に制御するアライメント制御系とを備えた画像検査装置。
IPC (4)：
H01J 37/22 502 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28
FI (4)：
H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/04 B ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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