感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996219125
Publication number (International publication number)：1998048814
Application date： Aug. 02, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】波長が220nm以下の放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、現像性、パターン形状等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)酸の作用により酸解離性官能基が解離してアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)ナフチルジアルキルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート類(但し、アルキル基の炭素数は1〜4)および/またはそれらの各置換誘導体(但し、置換基は、シアノ基、水酸基、ニトロ基、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシル基)を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)酸の作用により酸解離性官能基が解離してアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)下記式(1)で表される感放射線性酸発生剤【化1】〔式中、R1 は水素原子または水酸基を示し、R2 、R3 およびR4 のうち、一つは基【化2】(但し、R5 およびR6 は相互に独立に直鎖状あるいは分岐状のアルキル基を示す。)を示し、その他のものは相互に独立に水素原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、または直鎖状あるいは分岐状のアルコキシル基を示す。〕を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特にフォトレジストのためのマレイミドコポリマー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-335601 Applicant：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーマイクロエレクトロニックマテリアルズアクチエンゲゼルシヤフト
感光性組成物およびこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-281802 Applicant：株式会社東芝
アルカリ現像用レジスト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-213571 Applicant：株式会社東芝

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