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J-GLOBAL ID：200903012653923914

AFMカンチレバー及びその製造方法

Inventor：
長谷川 守

About 長谷川 守


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995084479
Publication number (International publication number)：1996262041
Application date： Mar. 17, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】 各種用途に要求されるレバー特性と探針特性とを共に満足させることの可能なAFMカンチレバーとその製造方法を提供する。【構成】 第1の層101 と第2の層103 とを重ね合わせて構成した片持ち梁105と、該片持ち梁105 の先端に、第1の層101 と第2の層103 とで基部102aが挟み込まれ保持された探針部102 と、片持ち梁105 の基部に設けられた支持部104 とでAFMカンチレバー100 を構成する。片持ち梁及び探針部の構成材料を適宜選択することにより、各種用途のAFMカンチレバーが得られる。
Claim (excerpt)：
片持ち梁の支持部と、該支持部より延びるように配置された片持ち梁と、該片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けた探針部とを備えたAFMカンチレバーにおいて、前記片持ち梁は第1の層と第2の層の重ね合わせ2層部を備え、前記探針部の基部を、前記片持ち梁の第1の層と第2の層の重ね合わせ2層部で挟み込んで、前記探針部を片持ち梁に結合していることを特徴とするAFMカンチレバー。
IPC (3)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28
FI (3)：
G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (15)
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Cited by examiner (5)
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