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J-GLOBAL ID：200903014532636716
圧電素子、圧電装置および角速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
角田 芳末
, 磯山 弘信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004152460
Publication number (International publication number)：2005333088
Application date： May. 21, 2004
Publication date： Dec. 02, 2005
Summary：
【課題】 Pb1+y(ZrxTi1-x)O3+yが成り立たない、例えば酸素の過不足を有する組成によるPZTにおいて、高い圧電定数を示す圧電素子と、この圧電そしを有する角速度センサ等の圧電装置を提供する。【解決手段】 基板5上に、第1電極14と、酸化物圧電膜15と、第2電極16とが積層形成されて成る圧電素子において、酸化物圧電膜15の材料組成を、[化1]で表され、かつパラメータが一定の範囲に選定された組成を有する圧電膜15によって、圧電素子2と、この圧電素子2を有する圧電装置1を構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板上に、第1電極と、酸化物圧電膜と、第2電極とが積層形成されて成り、
上記酸化物圧電膜の材料組成が下記[化1]で表され、
MがZn、Ni、Mn、Mgの少なくとも1種以上より成り、NがNb、Taの少なくとも1種以上より成り、
0≦x≦0.1、0.4≦y≦0.5、0<z≦0.1、0≦a≦1、0≦b≦1、0≦c<0.05であることを特徴とする圧電素子。
IPC (7)：
H01L41/187
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/22
H01L41/18 101D
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105BB14
, 2F105CC06
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 5J108AA09
, 5J108BB08
, 5J108CC01
, 5J108CC11
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108KK07
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