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J-GLOBAL ID：200903055556656600
圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (10)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004359762
Publication number (International publication number)：2005244174
Application date： Dec. 13, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：
【課題】 高湿度環境下において高電圧で駆動しても絶縁性の低下が生じない、高い信頼性を有する圧電体素子が容易に得られるようにする。【解決手段】 圧電体素子20の圧電体薄膜3に含まれる鉛量を化学量論組成よりも少なくする。すなわち、圧電体薄膜3を、Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0<s<1)で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛、又は、Aをペロブスカイト型結晶構造のAサイトに入る添加金属イオンとし、Bをペロブスカイト型結晶構造のBサイトに入る添加金属イオンとして、(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(0<s<1、0<t<1-s)で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物で構成し、Pb組成欠損量を示すxの値を0を超え0.15以下とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
第1の電極膜と圧電体薄膜と第2の電極膜とがこの順に積層されてなる積層体を備えた圧電体素子であって、
上記圧電体薄膜は、ペロブスカイト型結晶構造を示す酸化物であって化学組成式が、
Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0<s<1)
で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛、又は、Aをペロブスカイト型結晶構造のAサイトに入る添加金属イオンとし、Bをペロブスカイト型結晶構造のBサイトに入る添加金属イオンとして、
(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(0<s<1、0<t<1-s)
で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物からなっており、
上記チタン酸ジルコン酸鉛及びチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物の化学組成式において化学量論組成からのPb組成欠損量を示すxの値が、0を超え0.15以下であることを特徴とする圧電体素子。
IPC (9)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, C23C14/08
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
H01L41/08 C
, C23C14/08 K
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, H01L41/08 J
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG40
, 2C057AG44
, 2C057AG85
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4K029AA06
, 4K029AA07
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA13
, 4K029BA21
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BB07
, 4K029BC00
, 4K029BD00
, 4K029CA06
, 4K029DC39
, 4K029EA00
, 4K029EA01
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (9)
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Article cited by the Patent：
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